大坂 藍, 藤 大雪, 山内 和人, 佐野 泰久, 田中 秀和, 服部 梓
精密工学会学術講演会講演論文集 2020S 662-663 2020年3月1日 筆頭著者
本研究では、化学的作用のみによる表面創生技術を用いてMgO基板に結晶学的完全性の高い表面を作製し、その上に成長させた機能性金属酸化物Fe3O4極薄膜の結晶構造及び電気特性を評価した。極薄膜の物性は成長起点である基板品質に大きく影響され、原子レベルで平滑かつ結晶性の優れた表面を作製したMgO基板ではFe3O4薄膜の特性向上が見られた。当日は基板表面状態と極薄膜の結晶、伝導特性との相関について詳細に述べる。