研究者検索結果一覧 松本 歩 松本 歩マツモト アユム (Ayumu Matsumoto) ダウンロードする帳票の形式を下記より選択して下さい 「教育研究等環境」形式 「文科省帳票様式第4号 ①履歴書」形式 「文科省帳票様式第4号 ②教育研究業績書」形式 基本情報 所属兵庫県立大学 大学院 工学研究科 化学工学専攻 助教学位博士(工学)研究者番号30781322ORCID ID https://orcid.org/0000-0002-4077-6757J-GLOBAL ID201801015296343710Researcher IDABR-8160-2022researchmap会員IDB000347831 研究キーワード 10 レーザー誘起ブレークダウン分光 レーザーアブレーション プラズマ発光分光 金属援用エッチング 多孔質シリコン 半導体微細加工 貴金属回収 セメンテーション ナノ粒子 無電解めっき 研究分野 2 ナノテク・材料 / 分析化学 / ナノテク・材料 / 材料加工、組織制御 / 経歴 4 2017年10月 - 現在 兵庫県立大学 大学院工学研究科 化学工学専攻 助教 2024年8月 - 2024年9月 Université de Bordeaux Institut des Sciences Moléculaires Visiting Researcher 2016年4月 - 2017年9月 日本原子力研究開発機構 廃炉国際共同研究センター 博士研究員 2014年4月 - 2016年3月 日本学術振興会 特別研究員(DC2) 学歴 4 2013年4月 - 2016年3月 京都大学大学院 工学研究科 物質エネルギー化学専攻 博士後期課程 2011年4月 - 2013年3月 京都大学大学院 エネルギー科学研究科 エネルギー基礎科学専攻 修士課程 2009年4月 - 2011年3月 明石工業高等専門学校 専攻科 機械・電子システム工学専攻 2004年4月 - 2009年3月 明石工業高等専門学校 電気情報工学科 委員歴 28 2024年1月 - 現在 ARS部会 幹事 2021年12月 - 現在 LIBS研究会 幹事 2018年4月 - 2026年3月 日本機械学会 中国四国支部 LIBS研究会 副査 2025年4月 - 2025年11月 第27回関西表面技術フォーラム 実行委員 2025年9月 SAAMT2025 Executive Committee もっとみる 受賞 13 2023年7月 兵庫県立大学研究活動教員表彰 令和5年度研究活動特別賞 兵庫県立大学 松本 歩 2023年2月 2023年度表面技術協会進歩賞 無電解プロセスによるシリコンの表面処理と高感度レーザー分析への応用 表面技術協会 松本 歩 2017年8月 2nd Asian Symposium on Laser Induced Breakdown Spectroscopy (ASLIBS2017) Youth Researcher Best Oral Presentation Award Ayumu Matsumoto 2015年9月 8th Kyoto International Forum for Energy and Environment (KIFEE-8) Prize for Best Poster Ayumu Matsumoto 2015年3月 第37回(2014年秋季)応用物理学会講演奨励賞 松本 歩 もっとみる 論文 54 Use of porous silicon in underwater laser-induced breakdown spectroscopy for detecting lithium dissolved in a sodium chloride aqueous solution Ayumu Matsumoto, Koki Ikemoto, Hiroto Torigoe, Yusuke Shimazu, Kosuke Suzuki, Shinji Yae Journal of Analytical Atomic Spectrometry 40(12) 3507-3519 2025年10月9日 査読有り This study represents the first use of porous silicon as a substrate in underwater LIBS for detecting dissolved elements. Gold Recovery via Silicon Powder Cementation from a Thiosulfate Leaching Solution after Gold Metal Dissolution Ayumu Matsumoto, Shota Abe, Nobuyuki Shimizu, Takumi Osaka, Jinichiro Kadowaki, Shinji Yae Electrochemistry 93(6) 067002 2025年6月6日 査読有り Gold- and Silver-Nanoparticle-Assisted Etching of p-Si and n-Si: A Discussion of Etching Behavior Based on Polarization Curves Ayumu Matsumoto, Tatsuki Hashiguchi, Shinji Yae Electrochemistry 93(2) 027012 2025年2月13日 査読有り Metal-Assisted Etching of p-Type Silicon Using Patterned Platinum and Silver Films in Single Layers and Bimetal Double Layers Ayumu Matsumoto, Takuma Nakayama, Shinji Yae Electrochemistry 2025年 査読有り Stress Analysis of the Interface Reaction Layer Between Ni–P Films and GaAs Substrate After Annealing Koichiro Nishizawa, Ayumu Matsumoto, Yasuyuki Nakagawa, Hitoshi Sakuma, Yoshiki Kojima, Naoki Fukumuro, Shinji Yae Electrochemistry 92(12) 127004 2024年12月26日 査読有り もっとみる MISC 10 表面増強LIBS法を用いたニオブ電解研磨液の分析 仁井啓介, 井田義明, 遠山裕太, 島津佑輔, 松本 歩, 八重真治 第21回日本加速器学会年会プロシーディングス 335-337 2024年10月28日 GaAs半導体プロセスにおけるウエハ反りの低減 西澤弘一郎, 松本 歩, 中川康幸, 日坂隆行, 福室直樹, 佐久間 仁, 小島善樹, 八重真治 電子情報通信学会技術研究報告 123(365) 1-3 2024年1月18日 Studies on a Liquid Immersion-Type High-Pressure Nickel-Metal Hydride Battery (Fast Charge / Discharge Cycle and Gas Generation) Kouji Maeda, Shinji Yae, Naoki Fukumuro, Ayumu Matsumoto, Kenji Iimura SSRN 1-15 2023年1月29日 GaAs基板上に形成したNi-Pめっき膜の応力解析 西澤弘一郎, 松本 歩, 中川康幸, 佐久間 仁, 後藤清毅, 福室直樹, 八重真治 電子情報通信学会技術研究報告 122(370) 33-35 2023年1月20日 高分子添加剤で加工性を改善した金属援用エッチングによるSiの微細加工 佐野光雄, 小幡 進, 田嶋尚之, 浮田康成, 樋口和人, 松本 歩, 八重真治 第28回「エレクトロニクスにおけるマイクロ接合・実装技術」シンポジウム論文集 173-178 2022年2月 もっとみる 書籍等出版物 3 先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術 八重真治, 松本 歩 (担当:分担執筆, 範囲:第6章 第2節 金属援用エッチングのメカニズムとポーラスシリコンの形成技術) 技術情報協会 2023年9月29日 (ISBN: 9784861049828) 多孔質体ハンドブック: 性質・評価・応用 八重真治, 松本 歩 (担当:分担執筆, 範囲:第2編 第8章 ポーラスシリコンの光学特性) エヌ・ティー・エス 2023年6月6日 (ISBN: 4860438248) 金属ナノ粒子、微粒子の合成、調製と最新応用技術 山田直輝, 松本 歩, 福室直樹, 八重真治 (担当:分担執筆, 範囲:第4章 第5節 無電解反応によりシリコン上に形成した貴金属ナノ粒子と高密着性めっき膜) 技術情報協会 2021年10月29日 (ISBN: 9784861048623) 講演・口頭発表等 56 GaAs基板上に形成した無電解Ni-Pめっき膜のストレス解析 西澤弘一郎, 松本 歩, 日坂隆行, 門岩 薫, 中村 勇, 佐久間 仁, 小島善樹, 市川 聡, 福室直樹, 八重真治 電気化学会第92回大会 2025年3月20日 電気化学会 銀ナノ粒子を用いたn型シリコンの金属援用エッチング ―過酸化水素濃度の影響― 橋口達希, 松本 歩, 八重真治 日本金属学会2025年春期(第176回)講演大会 2025年3月8日 日本金属学会 金および銀ナノ粒子によるシリコンの金属援用エッチング ―n-Siのエッチング時間による表面構造の変化― 橋口達希, 松本 歩, 八重真治 令和6年度鉄鋼プロセス研究会・材料化学研究会学生発表会 2025年1月21日 日本鉄鋼協会・日本金属学会関西支部 鉄鋼プロセス研究会・材料化学研究会 LIBS Analysis of Electropolishing Solution for Stainless Steel Using Porous Silicon Substrate Yuki Takeda, Koki Ikemoto, Ayumu Matsumoto, Keisuke Nii, Yoshiaki Ida, Shinji Yae Joint International Conferences on Post-CSI/ASLIBS2023 and SAAMT2024 2024年12月13日 Japanese LIBS Community Underwater Laser-Induced Breakdown Spectroscopy Using Porous Silicon: Detection of Lithium Dissolved in Water Koki Ikemoto, Yuki Takeda, Ayumu Matsumoto, Shinji Yae Joint International Conferences on Post-CSI/ASLIBS2023 and SAAMT2024 2024年12月13日 Japanese LIBS Community Surface-Enhanced LIBS of Niobium Electropolishing Solution: Wiping of a Sample Droplet on Porous Silicon Ayumu Matsumoto, Yuta Toyama, Yusuke Shimazu, Keisuke Nii, Yoshiaki Ida, Shinji Yae Joint International Conferences on Post-CSI/ASLIBS2023 and SAAMT2024 2024年12月13日 Japanese LIBS Community 招待有り 金および銀ナノ粒子を用いたシリコンの金属援用エッチング ―分極曲線による全面腐食の考察― 橋口達希, 松本 歩, 八重真治 2024年度第3回関西電気化学研究会 2024年11月30日 電気化学研究会関西支部 金および銀ナノ粒子を用いたシリコンの金属援用エッチング ―p-Siとn-Siによるエッチング挙動の違い― 橋口達希, 松本 歩, 八重真治 第26回関西表面技術フォーラム 2024年11月22日 表面技術協会関西支部 シリコンの金属援用エッチングにおける全面腐食 ―エッチング中の腐食電位と分極特性― 橋口達希, 松本 歩, 八重真治 第39回ARS蒲郡コンファレンス 2024年11月14日 ARS部会 白金微粒子を用いた高ドープp型シリコンの金属援用エッチング ―フッ化水素酸濃度による多孔質構造の変化― 田中琉功, 橋口達希, 仲山拓真, 松本 歩, 八重真治 第39回ARS蒲郡コンファレンス 2024年11月14日 ARS部会 Si粉末廃棄物を利用した貴金属の回収技術 ―チオ硫酸アンモニウム系浸出液からの金回収― 八重真治, 松本 歩 第39回ARS蒲郡コンファレンス 2024年11月14日 ARS部会 招待有り General Corrosion and Electrode Potential in Metal-Nanoparticle-Assisted Etching of p-Type and n-Type Silicon Using Gold and Silver Tatsuki Hashiguchi, Kyohei Azuma, Rin Nishinaka, Ayumu Matsumoto, Shinji Yae Pacific Rim Meeting on Electrochemical and Solid State Science 2024 (PRiME 2024) 2024年10月8日 The Electrochemical Society Composite Porous Structure Formation By Metal-Assisted Etching of p-Type Silicon Shinji Yae, Kyohei Azuma, Rin Nishinaka, Tatsuki Hashiguchi, Takuma Nakayama, Ayumu Matsumoto Pacific Rim Meeting on Electrochemical and Solid State Science 2024 (PRiME 2024) 2024年10月7日 The Electrochemical Society 銅ストライクめっきにおけるシアン浴と非シアン浴の皮膜構造比較 寺内亮一, 橋本倫也, 松本 歩, 福室直樹, 八重真治 表面技術協会第150回講演大会 2024年9月13日 表面技術協会 GaAs基板上に形成した無電解Ni-Pめっき膜の応力評価 (3) 西澤弘一郎, 松本 歩, 日坂隆行, 門岩 薫, 中村 勇, 市川 聡, 佐久間 仁, 小島善樹, 福室直樹, 八重真治 第88回半導体・集積回路技術シンポジウム 2024年8月26日 電気化学会電子材料委員会 表面増強LIBS法を用いたニオブ電解研磨液の分析 仁井啓介, 井田義明, 遠山裕太, 島津佑輔, 松本 歩, 八重真治 第21回日本加速器学会年会 2024年7月31日 日本加速器学会 金属援用エッチングによるマイクロ・ナノ複合多孔質構造の形成 八重真治, 松本 歩 電気化学会第91回大会 2024年3月16日 電気化学会 招待有り シリコン粉末によるチオ硫酸アンモニウム系浸出液からの金回収 ―金回収挙動に対する共存元素の影響― 門脇晨一郎, 逢坂 匠, 松本 歩, 八重真治 電気化学会第91回大会 2024年3月14日 電気化学会 白金および銀の薄膜パターンを用いたp型シリコンの金属援用エッチング 仲山拓真, 西中 凜, 東 恭平, 橋口達希, 松本 歩, 八重真治 電気化学会第91回大会 2024年3月14日 電気化学会 金属援用エッチングにより形成される多孔質シリコンの透過電子顕微鏡観察 森 大樹, 東 恭平, 福室直樹, 松本 歩, 八重真治 表面技術協会第149回講演大会 2024年3月5日 表面技術協会 シリコンの金属援用エッチングで形成される多孔質構造 ―メソポーラス層形成と全面腐食― 八重真治, 東 恭平, 西中 凜, 橋口達希, 松本 歩, 福室直樹 表面技術協会第149回講演大会 2024年3月5日 表面技術協会 GaAs半導体プロセスにおけるウエハ反りの低減 西澤弘一郎, 松本 歩, 中川康幸, 日坂隆行, 福室直樹, 佐久間 仁, 小島善樹, 八重真治 電子情報通信学会電子デバイス研究会 2024年1月25日 電子情報通信学会電子デバイス研究会 多孔質シリコンを用いた液体のレーザー誘起ブレークダウン分光分析 松本 歩, 島津佑輔, 八重真治 レーザー学会学術講演会第44回年次大会 2024年1月17日 レーザー学会 招待有り シリコンの金属援用エッチングにおける全面腐食 ―電気化学測定による解析― 橋口達希, 東 恭平, 西中 凜, 松本 歩, 八重真治 2023年度第3回関西電気化学研究会 2023年12月9日 電気化学研究会関西支部 銅ストライクめっきにおけるシアン浴と非シアン浴の皮膜比較 寺内亮一, 橋本倫也, 松本 歩, 福室直樹, 八重真治 第25回関西表面技術フォーラム 2023年12月1日 表面技術協会関西支部 チオ硫酸アンモニウム系浸出液とシリコン粉末を利用した金回収 ―攪拌速度と溶存酸素の影響― 逢坂 匠, 岩井優奈, 松本 歩, 八重真治 第25回関西表面技術フォーラム 2023年11月30日 表面技術協会関西支部 表面微細構造を利用したレーザー誘起ブレークダウン分光による液体の遠隔分析技術の検討 島津佑輔, 長橋英雄, 仲野春香, 鈴木康介, 松本 歩, 八重真治 第25回関西表面技術フォーラム 2023年11月30日 表面技術協会関西支部 Metal-Assisted Etching of Silicon ―Formation of Porous Structure and General Corrosion of Whole Surface― Shinji Yae, Ayumu Matsumoto International Conference on Surface Engineering (ICSE2023) 2023年11月23日 ICSE2023 Organizing Committees 招待有り Formation of porous silicon by metal-nanoparticle-assisted etching and application to laser-induced breakdown spectroscopy 松本 歩, 八重真治 ナノ学会 ナノ構造・物性-ナノ機能・応用部会 合同シンポジウム 2023年11月21日 ナノ学会 構造・物性部会, ナノ学会 機能・応用部会 招待有り 薄膜パターンを用いたシリコンの金属援用エッチング ―白金と銀のエッチング挙動の違い― 仲山拓真, 西中 凜, 東 恭平, 橋口達希, 松本 歩, 八重真治 第38回ARS姫路コンファレンス 2023年11月6日 ARS部会 白金薄膜パターンを用いたシリコンの金属援用エッチング ―p-Siにおけるメソポーラス層の形成挙動― 西中 凜, 東 恭平, 橋口逹希, 仲山拓真, 松本 歩, 八重真治 第38回ARS姫路コンファレンス 2023年11月6日 ARS部会 シリコンの金属援用エッチングにおける全面腐食と電極電位の関係 橋口達希, 東 恭平, 西中 凜, 仲山拓真, 松本 歩, 八重真治 第38回ARS姫路コンファレンス 2023年11月6日 ARS部会 Gold Recovery from Thiosulfate Leaching Solution Using Silicon Powder and Electrochemical Monitoring of Its Process Shinji Yae, Yuna Iwai, Yumi Takashima, Takumi Osaka, Ayumu Matsumoto 244th ECS Meeting 2023年10月10日 The Electrochemical Society GaAs(100)単結晶基板と無電解Ni-Pめっき膜の界面反応層のストレス解析 西澤弘一郎, 松本 歩, 福室直樹, 中川康幸, 日坂隆行, 佐久間 仁, 小島善樹, 八重真治 表面技術協会第148回講演大会 2023年9月4日 表面技術協会 GaAs基板上に形成した無電解Ni-Pめっき膜の応力評価 (2) 西澤弘一郎, 松本 歩, 福室直樹, 中川康幸, 日坂隆行, 佐久間 仁, 小島善樹, 八重真治 第87回半導体・集積回路技術シンポジウム 2023年8月30日 電気化学会電子材料委員会 シリコンの金属援用エッチング ―孔形成の仕組みとレーザー分光分析への応用― 八重真治, 松本 歩 近畿アルミニウム表面処理研究会 2023年6月30日 近畿アルミニウム表面処理研究会 招待有り Surface-enhanced LIBS using a porous silicon substrate ―Introduction of fiber-optic system for remote analysis― Yusuke Shimazu, Hideo Nagahashi, Kosuke Suzuki, Haruka Nakano, Ayumu Matsumoto, Shinji Yae Colloquium Spectroscopicum Internationale XLIII & The 5th Asian Symposium on Laser Induced Breakdown Spectroscopy (CSI XLIII & ASLIBS2023) 2023年6月28日 CSI XLIII & ASLIBS2023 Organizing Committees Surface-enhanced LIBS using a porous silicon substrate ―Analysis of microdroplets with different salinity― Ayumu Matsumoto, Yusuke Shimazu, Haruka Nakano, Kosuke Suzuki, Shinji Yae Colloquium Spectroscopicum Internationale XLIII & The 5th Asian Symposium on Laser Induced Breakdown Spectroscopy (CSI XLIII & ASLIBS2023) 2023年6月27日 CSI XLIII & ASLIBS2023 Organizing Committees 招待有り 無電解プロセスによるシリコンの表面処理と高感度レーザー分析への応用 松本 歩 表協青年経営技術懇話会(SYMTEC) 第119回会合 2023年4月14日 表協青年経営技術懇話会 招待有り 触媒薄膜パターンを用いたn型およびp型シリコンの金属援用エッチング ―メソポーラス層の分布の違い― 西中 凜, 東 恭平, 橋口逹希, 松本 歩, 八重真治 電気化学会第90回大会 2023年3月28日 低抵抗シリコンの金属援用エッチングによるメソポーラス層の形成 東 恭平, 西中 凜, 橋口達希, 松本 歩, 八重真治 表面技術協会第147回講演大会 2023年3月7日 GaAs基板上に形成したNi-Pめっき膜の応力解析 西澤弘一郎, 松本 歩, 中川康幸, 佐久間 仁, 後藤清毅, 福室直樹, 八重真治 電子情報通信学会電子デバイス研究会 2023年1月27日 シリコン上への置換析出を利用した環境調和型金回収プロセス 八重真治, 松本 歩 第79回表面技術アカデミック研究会討論会 2022年12月20日 招待有り 多孔質シリコンを利用したLIBS分析 ―ファイバー伝送系による遠隔分析の検討― 池本恒輝, 鈴木康介, 島津佑輔, 長橋英雄, 松本 歩, 八重真治 第8回先端計測技術の応用展開に関するシンポジウム(SAAMT2022) 2022年12月10日 多孔質シリコン基板を利用した液体のLIBS分析 ―実試料分析を目指した基板上の試料分布制御― 鈴木康介, 島津佑輔, 仲野春香, 松本 歩, 八重真治 第8回先端計測技術の応用展開に関するシンポジウム(SAAMT2022) 2022年12月10日 多孔質シリコンを利用したLIBS分析 ―ファイバー伝送系による遠隔分析の検討― 島津佑輔, 鈴木康介, 松本 歩, 八重真治 第8回先端計測技術の応用展開に関するシンポジウム(SAAMT2022) 2022年12月9日 チオ硫酸アンモニウム系浸出液とシリコン粉末を利用した金回収 ―金の溶解と回収に対する攪拌速度の影響― 逢坂 匠, 岩井優奈, 松本 歩, 八重真治 第24回関西表面技術フォーラム 2022年11月18日 白金薄膜パターンを用いたn型およびp型シリコンの金属援用エッチング 西中 凜, 東 恭平, 橋口達希, 松本 歩, 八重真治 第37回ARS部会三河コンファレンス 2022年11月8日 白金微粒子を用いた低抵抗シリコンの金属援用エッチング 東 恭平, 西中 凜, 橋口達希, 松本 歩, 八重真治 第37回ARS部会三河コンファレンス 2022年11月8日 金および銀ナノ粒子を用いたシリコンの金属援用エッチングにおける全面腐食の評価 橋口達希, 東 恭平, 西中 凜, 松本 歩, 八重真治 第37回ARS部会三河コンファレンス 2022年11月8日 12» 担当経験のある科目(授業) 4 2021年10月 - 現在 化学工学プログラミング (兵庫県立大学 工学部 応用化学工学科) 2021年4月 - 現在 物理学実験 (兵庫県立大学 工学部 応用化学工学科) 2018年4月 - 現在 化学工学実験 (兵庫県立大学 工学部 応用化学工学科) 2018年4月 - 現在 情報処理基礎 (兵庫県立大学 工学部 応用化学工学科) 所属学協会 9 2018年6月 - 現在 The Electrochemical Society 2018年4月 - 現在 日本機械学会 2017年10月 - 現在 ARS部会 2017年10月 - 現在 表面技術協会 2016年12月 - 現在 LIBS研究会 もっとみる 共同研究・競争的資金等の研究課題 19 レーザー誘起ブレークダウン分光によるニオブ電解研磨液の現場分析 姫路市 令和7年度産学協同研究助成金 2025年7月 - 2026年3月 松本 歩, 仁井啓介 金ナノ粒子担持ポーラスシリコンを活用した微量液体のレーザー分析技術の開発 日本学術振興会 科学研究費助成事業 2023年4月 - 2026年3月 松本 歩 レーザー誘起ブレークダウン分光による電解研磨液の分析 兵庫県立大学 地域連携卒業研究 2023年6月 - 2024年3月 松本 歩, 遠山裕太, 仁井啓介 時空間パターン形成化学とキラル分子化学の国際連携・融合研究 日本学術振興会 科学研究費助成事業 2020年10月 - 2024年3月 深見一弘, 岡崎 豊, 松本 歩 シリコンナノホールアレイ上で生成するレーザー誘起プラズマの発光スペクトル解析 兵庫県立大学 特別研究助成金 若手研究者支援 2022年4月 - 2023年3月 松本 歩 もっとみる 産業財産権 1 特許第7280110号 測定用基材及びその製造方法、並びに発光分光分析装置及び発光分光分析方法 松本 歩, 八重真治
松本 歩マツモト アユム (Ayumu Matsumoto) ダウンロードする帳票の形式を下記より選択して下さい 「教育研究等環境」形式 「文科省帳票様式第4号 ①履歴書」形式 「文科省帳票様式第4号 ②教育研究業績書」形式 基本情報 所属兵庫県立大学 大学院 工学研究科 化学工学専攻 助教学位博士(工学)研究者番号30781322ORCID ID https://orcid.org/0000-0002-4077-6757J-GLOBAL ID201801015296343710Researcher IDABR-8160-2022researchmap会員IDB000347831 研究キーワード 10 レーザー誘起ブレークダウン分光 レーザーアブレーション プラズマ発光分光 金属援用エッチング 多孔質シリコン 半導体微細加工 貴金属回収 セメンテーション ナノ粒子 無電解めっき 研究分野 2 ナノテク・材料 / 分析化学 / ナノテク・材料 / 材料加工、組織制御 / 経歴 4 2017年10月 - 現在 兵庫県立大学 大学院工学研究科 化学工学専攻 助教 2024年8月 - 2024年9月 Université de Bordeaux Institut des Sciences Moléculaires Visiting Researcher 2016年4月 - 2017年9月 日本原子力研究開発機構 廃炉国際共同研究センター 博士研究員 2014年4月 - 2016年3月 日本学術振興会 特別研究員(DC2) 学歴 4 2013年4月 - 2016年3月 京都大学大学院 工学研究科 物質エネルギー化学専攻 博士後期課程 2011年4月 - 2013年3月 京都大学大学院 エネルギー科学研究科 エネルギー基礎科学専攻 修士課程 2009年4月 - 2011年3月 明石工業高等専門学校 専攻科 機械・電子システム工学専攻 2004年4月 - 2009年3月 明石工業高等専門学校 電気情報工学科 委員歴 28 2024年1月 - 現在 ARS部会 幹事 2021年12月 - 現在 LIBS研究会 幹事 2018年4月 - 2026年3月 日本機械学会 中国四国支部 LIBS研究会 副査 2025年4月 - 2025年11月 第27回関西表面技術フォーラム 実行委員 2025年9月 SAAMT2025 Executive Committee もっとみる 受賞 13 2023年7月 兵庫県立大学研究活動教員表彰 令和5年度研究活動特別賞 兵庫県立大学 松本 歩 2023年2月 2023年度表面技術協会進歩賞 無電解プロセスによるシリコンの表面処理と高感度レーザー分析への応用 表面技術協会 松本 歩 2017年8月 2nd Asian Symposium on Laser Induced Breakdown Spectroscopy (ASLIBS2017) Youth Researcher Best Oral Presentation Award Ayumu Matsumoto 2015年9月 8th Kyoto International Forum for Energy and Environment (KIFEE-8) Prize for Best Poster Ayumu Matsumoto 2015年3月 第37回(2014年秋季)応用物理学会講演奨励賞 松本 歩 もっとみる 論文 54 Use of porous silicon in underwater laser-induced breakdown spectroscopy for detecting lithium dissolved in a sodium chloride aqueous solution Ayumu Matsumoto, Koki Ikemoto, Hiroto Torigoe, Yusuke Shimazu, Kosuke Suzuki, Shinji Yae Journal of Analytical Atomic Spectrometry 40(12) 3507-3519 2025年10月9日 査読有り This study represents the first use of porous silicon as a substrate in underwater LIBS for detecting dissolved elements. Gold Recovery via Silicon Powder Cementation from a Thiosulfate Leaching Solution after Gold Metal Dissolution Ayumu Matsumoto, Shota Abe, Nobuyuki Shimizu, Takumi Osaka, Jinichiro Kadowaki, Shinji Yae Electrochemistry 93(6) 067002 2025年6月6日 査読有り Gold- and Silver-Nanoparticle-Assisted Etching of p-Si and n-Si: A Discussion of Etching Behavior Based on Polarization Curves Ayumu Matsumoto, Tatsuki Hashiguchi, Shinji Yae Electrochemistry 93(2) 027012 2025年2月13日 査読有り Metal-Assisted Etching of p-Type Silicon Using Patterned Platinum and Silver Films in Single Layers and Bimetal Double Layers Ayumu Matsumoto, Takuma Nakayama, Shinji Yae Electrochemistry 2025年 査読有り Stress Analysis of the Interface Reaction Layer Between Ni–P Films and GaAs Substrate After Annealing Koichiro Nishizawa, Ayumu Matsumoto, Yasuyuki Nakagawa, Hitoshi Sakuma, Yoshiki Kojima, Naoki Fukumuro, Shinji Yae Electrochemistry 92(12) 127004 2024年12月26日 査読有り もっとみる MISC 10 表面増強LIBS法を用いたニオブ電解研磨液の分析 仁井啓介, 井田義明, 遠山裕太, 島津佑輔, 松本 歩, 八重真治 第21回日本加速器学会年会プロシーディングス 335-337 2024年10月28日 GaAs半導体プロセスにおけるウエハ反りの低減 西澤弘一郎, 松本 歩, 中川康幸, 日坂隆行, 福室直樹, 佐久間 仁, 小島善樹, 八重真治 電子情報通信学会技術研究報告 123(365) 1-3 2024年1月18日 Studies on a Liquid Immersion-Type High-Pressure Nickel-Metal Hydride Battery (Fast Charge / Discharge Cycle and Gas Generation) Kouji Maeda, Shinji Yae, Naoki Fukumuro, Ayumu Matsumoto, Kenji Iimura SSRN 1-15 2023年1月29日 GaAs基板上に形成したNi-Pめっき膜の応力解析 西澤弘一郎, 松本 歩, 中川康幸, 佐久間 仁, 後藤清毅, 福室直樹, 八重真治 電子情報通信学会技術研究報告 122(370) 33-35 2023年1月20日 高分子添加剤で加工性を改善した金属援用エッチングによるSiの微細加工 佐野光雄, 小幡 進, 田嶋尚之, 浮田康成, 樋口和人, 松本 歩, 八重真治 第28回「エレクトロニクスにおけるマイクロ接合・実装技術」シンポジウム論文集 173-178 2022年2月 もっとみる 書籍等出版物 3 先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術 八重真治, 松本 歩 (担当:分担執筆, 範囲:第6章 第2節 金属援用エッチングのメカニズムとポーラスシリコンの形成技術) 技術情報協会 2023年9月29日 (ISBN: 9784861049828) 多孔質体ハンドブック: 性質・評価・応用 八重真治, 松本 歩 (担当:分担執筆, 範囲:第2編 第8章 ポーラスシリコンの光学特性) エヌ・ティー・エス 2023年6月6日 (ISBN: 4860438248) 金属ナノ粒子、微粒子の合成、調製と最新応用技術 山田直輝, 松本 歩, 福室直樹, 八重真治 (担当:分担執筆, 範囲:第4章 第5節 無電解反応によりシリコン上に形成した貴金属ナノ粒子と高密着性めっき膜) 技術情報協会 2021年10月29日 (ISBN: 9784861048623) 講演・口頭発表等 56 GaAs基板上に形成した無電解Ni-Pめっき膜のストレス解析 西澤弘一郎, 松本 歩, 日坂隆行, 門岩 薫, 中村 勇, 佐久間 仁, 小島善樹, 市川 聡, 福室直樹, 八重真治 電気化学会第92回大会 2025年3月20日 電気化学会 銀ナノ粒子を用いたn型シリコンの金属援用エッチング ―過酸化水素濃度の影響― 橋口達希, 松本 歩, 八重真治 日本金属学会2025年春期(第176回)講演大会 2025年3月8日 日本金属学会 金および銀ナノ粒子によるシリコンの金属援用エッチング ―n-Siのエッチング時間による表面構造の変化― 橋口達希, 松本 歩, 八重真治 令和6年度鉄鋼プロセス研究会・材料化学研究会学生発表会 2025年1月21日 日本鉄鋼協会・日本金属学会関西支部 鉄鋼プロセス研究会・材料化学研究会 LIBS Analysis of Electropolishing Solution for Stainless Steel Using Porous Silicon Substrate Yuki Takeda, Koki Ikemoto, Ayumu Matsumoto, Keisuke Nii, Yoshiaki Ida, Shinji Yae Joint International Conferences on Post-CSI/ASLIBS2023 and SAAMT2024 2024年12月13日 Japanese LIBS Community Underwater Laser-Induced Breakdown Spectroscopy Using Porous Silicon: Detection of Lithium Dissolved in Water Koki Ikemoto, Yuki Takeda, Ayumu Matsumoto, Shinji Yae Joint International Conferences on Post-CSI/ASLIBS2023 and SAAMT2024 2024年12月13日 Japanese LIBS Community Surface-Enhanced LIBS of Niobium Electropolishing Solution: Wiping of a Sample Droplet on Porous Silicon Ayumu Matsumoto, Yuta Toyama, Yusuke Shimazu, Keisuke Nii, Yoshiaki Ida, Shinji Yae Joint International Conferences on Post-CSI/ASLIBS2023 and SAAMT2024 2024年12月13日 Japanese LIBS Community 招待有り 金および銀ナノ粒子を用いたシリコンの金属援用エッチング ―分極曲線による全面腐食の考察― 橋口達希, 松本 歩, 八重真治 2024年度第3回関西電気化学研究会 2024年11月30日 電気化学研究会関西支部 金および銀ナノ粒子を用いたシリコンの金属援用エッチング ―p-Siとn-Siによるエッチング挙動の違い― 橋口達希, 松本 歩, 八重真治 第26回関西表面技術フォーラム 2024年11月22日 表面技術協会関西支部 シリコンの金属援用エッチングにおける全面腐食 ―エッチング中の腐食電位と分極特性― 橋口達希, 松本 歩, 八重真治 第39回ARS蒲郡コンファレンス 2024年11月14日 ARS部会 白金微粒子を用いた高ドープp型シリコンの金属援用エッチング ―フッ化水素酸濃度による多孔質構造の変化― 田中琉功, 橋口達希, 仲山拓真, 松本 歩, 八重真治 第39回ARS蒲郡コンファレンス 2024年11月14日 ARS部会 Si粉末廃棄物を利用した貴金属の回収技術 ―チオ硫酸アンモニウム系浸出液からの金回収― 八重真治, 松本 歩 第39回ARS蒲郡コンファレンス 2024年11月14日 ARS部会 招待有り General Corrosion and Electrode Potential in Metal-Nanoparticle-Assisted Etching of p-Type and n-Type Silicon Using Gold and Silver Tatsuki Hashiguchi, Kyohei Azuma, Rin Nishinaka, Ayumu Matsumoto, Shinji Yae Pacific Rim Meeting on Electrochemical and Solid State Science 2024 (PRiME 2024) 2024年10月8日 The Electrochemical Society Composite Porous Structure Formation By Metal-Assisted Etching of p-Type Silicon Shinji Yae, Kyohei Azuma, Rin Nishinaka, Tatsuki Hashiguchi, Takuma Nakayama, Ayumu Matsumoto Pacific Rim Meeting on Electrochemical and Solid State Science 2024 (PRiME 2024) 2024年10月7日 The Electrochemical Society 銅ストライクめっきにおけるシアン浴と非シアン浴の皮膜構造比較 寺内亮一, 橋本倫也, 松本 歩, 福室直樹, 八重真治 表面技術協会第150回講演大会 2024年9月13日 表面技術協会 GaAs基板上に形成した無電解Ni-Pめっき膜の応力評価 (3) 西澤弘一郎, 松本 歩, 日坂隆行, 門岩 薫, 中村 勇, 市川 聡, 佐久間 仁, 小島善樹, 福室直樹, 八重真治 第88回半導体・集積回路技術シンポジウム 2024年8月26日 電気化学会電子材料委員会 表面増強LIBS法を用いたニオブ電解研磨液の分析 仁井啓介, 井田義明, 遠山裕太, 島津佑輔, 松本 歩, 八重真治 第21回日本加速器学会年会 2024年7月31日 日本加速器学会 金属援用エッチングによるマイクロ・ナノ複合多孔質構造の形成 八重真治, 松本 歩 電気化学会第91回大会 2024年3月16日 電気化学会 招待有り シリコン粉末によるチオ硫酸アンモニウム系浸出液からの金回収 ―金回収挙動に対する共存元素の影響― 門脇晨一郎, 逢坂 匠, 松本 歩, 八重真治 電気化学会第91回大会 2024年3月14日 電気化学会 白金および銀の薄膜パターンを用いたp型シリコンの金属援用エッチング 仲山拓真, 西中 凜, 東 恭平, 橋口達希, 松本 歩, 八重真治 電気化学会第91回大会 2024年3月14日 電気化学会 金属援用エッチングにより形成される多孔質シリコンの透過電子顕微鏡観察 森 大樹, 東 恭平, 福室直樹, 松本 歩, 八重真治 表面技術協会第149回講演大会 2024年3月5日 表面技術協会 シリコンの金属援用エッチングで形成される多孔質構造 ―メソポーラス層形成と全面腐食― 八重真治, 東 恭平, 西中 凜, 橋口達希, 松本 歩, 福室直樹 表面技術協会第149回講演大会 2024年3月5日 表面技術協会 GaAs半導体プロセスにおけるウエハ反りの低減 西澤弘一郎, 松本 歩, 中川康幸, 日坂隆行, 福室直樹, 佐久間 仁, 小島善樹, 八重真治 電子情報通信学会電子デバイス研究会 2024年1月25日 電子情報通信学会電子デバイス研究会 多孔質シリコンを用いた液体のレーザー誘起ブレークダウン分光分析 松本 歩, 島津佑輔, 八重真治 レーザー学会学術講演会第44回年次大会 2024年1月17日 レーザー学会 招待有り シリコンの金属援用エッチングにおける全面腐食 ―電気化学測定による解析― 橋口達希, 東 恭平, 西中 凜, 松本 歩, 八重真治 2023年度第3回関西電気化学研究会 2023年12月9日 電気化学研究会関西支部 銅ストライクめっきにおけるシアン浴と非シアン浴の皮膜比較 寺内亮一, 橋本倫也, 松本 歩, 福室直樹, 八重真治 第25回関西表面技術フォーラム 2023年12月1日 表面技術協会関西支部 チオ硫酸アンモニウム系浸出液とシリコン粉末を利用した金回収 ―攪拌速度と溶存酸素の影響― 逢坂 匠, 岩井優奈, 松本 歩, 八重真治 第25回関西表面技術フォーラム 2023年11月30日 表面技術協会関西支部 表面微細構造を利用したレーザー誘起ブレークダウン分光による液体の遠隔分析技術の検討 島津佑輔, 長橋英雄, 仲野春香, 鈴木康介, 松本 歩, 八重真治 第25回関西表面技術フォーラム 2023年11月30日 表面技術協会関西支部 Metal-Assisted Etching of Silicon ―Formation of Porous Structure and General Corrosion of Whole Surface― Shinji Yae, Ayumu Matsumoto International Conference on Surface Engineering (ICSE2023) 2023年11月23日 ICSE2023 Organizing Committees 招待有り Formation of porous silicon by metal-nanoparticle-assisted etching and application to laser-induced breakdown spectroscopy 松本 歩, 八重真治 ナノ学会 ナノ構造・物性-ナノ機能・応用部会 合同シンポジウム 2023年11月21日 ナノ学会 構造・物性部会, ナノ学会 機能・応用部会 招待有り 薄膜パターンを用いたシリコンの金属援用エッチング ―白金と銀のエッチング挙動の違い― 仲山拓真, 西中 凜, 東 恭平, 橋口達希, 松本 歩, 八重真治 第38回ARS姫路コンファレンス 2023年11月6日 ARS部会 白金薄膜パターンを用いたシリコンの金属援用エッチング ―p-Siにおけるメソポーラス層の形成挙動― 西中 凜, 東 恭平, 橋口逹希, 仲山拓真, 松本 歩, 八重真治 第38回ARS姫路コンファレンス 2023年11月6日 ARS部会 シリコンの金属援用エッチングにおける全面腐食と電極電位の関係 橋口達希, 東 恭平, 西中 凜, 仲山拓真, 松本 歩, 八重真治 第38回ARS姫路コンファレンス 2023年11月6日 ARS部会 Gold Recovery from Thiosulfate Leaching Solution Using Silicon Powder and Electrochemical Monitoring of Its Process Shinji Yae, Yuna Iwai, Yumi Takashima, Takumi Osaka, Ayumu Matsumoto 244th ECS Meeting 2023年10月10日 The Electrochemical Society GaAs(100)単結晶基板と無電解Ni-Pめっき膜の界面反応層のストレス解析 西澤弘一郎, 松本 歩, 福室直樹, 中川康幸, 日坂隆行, 佐久間 仁, 小島善樹, 八重真治 表面技術協会第148回講演大会 2023年9月4日 表面技術協会 GaAs基板上に形成した無電解Ni-Pめっき膜の応力評価 (2) 西澤弘一郎, 松本 歩, 福室直樹, 中川康幸, 日坂隆行, 佐久間 仁, 小島善樹, 八重真治 第87回半導体・集積回路技術シンポジウム 2023年8月30日 電気化学会電子材料委員会 シリコンの金属援用エッチング ―孔形成の仕組みとレーザー分光分析への応用― 八重真治, 松本 歩 近畿アルミニウム表面処理研究会 2023年6月30日 近畿アルミニウム表面処理研究会 招待有り Surface-enhanced LIBS using a porous silicon substrate ―Introduction of fiber-optic system for remote analysis― Yusuke Shimazu, Hideo Nagahashi, Kosuke Suzuki, Haruka Nakano, Ayumu Matsumoto, Shinji Yae Colloquium Spectroscopicum Internationale XLIII & The 5th Asian Symposium on Laser Induced Breakdown Spectroscopy (CSI XLIII & ASLIBS2023) 2023年6月28日 CSI XLIII & ASLIBS2023 Organizing Committees Surface-enhanced LIBS using a porous silicon substrate ―Analysis of microdroplets with different salinity― Ayumu Matsumoto, Yusuke Shimazu, Haruka Nakano, Kosuke Suzuki, Shinji Yae Colloquium Spectroscopicum Internationale XLIII & The 5th Asian Symposium on Laser Induced Breakdown Spectroscopy (CSI XLIII & ASLIBS2023) 2023年6月27日 CSI XLIII & ASLIBS2023 Organizing Committees 招待有り 無電解プロセスによるシリコンの表面処理と高感度レーザー分析への応用 松本 歩 表協青年経営技術懇話会(SYMTEC) 第119回会合 2023年4月14日 表協青年経営技術懇話会 招待有り 触媒薄膜パターンを用いたn型およびp型シリコンの金属援用エッチング ―メソポーラス層の分布の違い― 西中 凜, 東 恭平, 橋口逹希, 松本 歩, 八重真治 電気化学会第90回大会 2023年3月28日 低抵抗シリコンの金属援用エッチングによるメソポーラス層の形成 東 恭平, 西中 凜, 橋口達希, 松本 歩, 八重真治 表面技術協会第147回講演大会 2023年3月7日 GaAs基板上に形成したNi-Pめっき膜の応力解析 西澤弘一郎, 松本 歩, 中川康幸, 佐久間 仁, 後藤清毅, 福室直樹, 八重真治 電子情報通信学会電子デバイス研究会 2023年1月27日 シリコン上への置換析出を利用した環境調和型金回収プロセス 八重真治, 松本 歩 第79回表面技術アカデミック研究会討論会 2022年12月20日 招待有り 多孔質シリコンを利用したLIBS分析 ―ファイバー伝送系による遠隔分析の検討― 池本恒輝, 鈴木康介, 島津佑輔, 長橋英雄, 松本 歩, 八重真治 第8回先端計測技術の応用展開に関するシンポジウム(SAAMT2022) 2022年12月10日 多孔質シリコン基板を利用した液体のLIBS分析 ―実試料分析を目指した基板上の試料分布制御― 鈴木康介, 島津佑輔, 仲野春香, 松本 歩, 八重真治 第8回先端計測技術の応用展開に関するシンポジウム(SAAMT2022) 2022年12月10日 多孔質シリコンを利用したLIBS分析 ―ファイバー伝送系による遠隔分析の検討― 島津佑輔, 鈴木康介, 松本 歩, 八重真治 第8回先端計測技術の応用展開に関するシンポジウム(SAAMT2022) 2022年12月9日 チオ硫酸アンモニウム系浸出液とシリコン粉末を利用した金回収 ―金の溶解と回収に対する攪拌速度の影響― 逢坂 匠, 岩井優奈, 松本 歩, 八重真治 第24回関西表面技術フォーラム 2022年11月18日 白金薄膜パターンを用いたn型およびp型シリコンの金属援用エッチング 西中 凜, 東 恭平, 橋口達希, 松本 歩, 八重真治 第37回ARS部会三河コンファレンス 2022年11月8日 白金微粒子を用いた低抵抗シリコンの金属援用エッチング 東 恭平, 西中 凜, 橋口達希, 松本 歩, 八重真治 第37回ARS部会三河コンファレンス 2022年11月8日 金および銀ナノ粒子を用いたシリコンの金属援用エッチングにおける全面腐食の評価 橋口達希, 東 恭平, 西中 凜, 松本 歩, 八重真治 第37回ARS部会三河コンファレンス 2022年11月8日 12» 担当経験のある科目(授業) 4 2021年10月 - 現在 化学工学プログラミング (兵庫県立大学 工学部 応用化学工学科) 2021年4月 - 現在 物理学実験 (兵庫県立大学 工学部 応用化学工学科) 2018年4月 - 現在 化学工学実験 (兵庫県立大学 工学部 応用化学工学科) 2018年4月 - 現在 情報処理基礎 (兵庫県立大学 工学部 応用化学工学科) 所属学協会 9 2018年6月 - 現在 The Electrochemical Society 2018年4月 - 現在 日本機械学会 2017年10月 - 現在 ARS部会 2017年10月 - 現在 表面技術協会 2016年12月 - 現在 LIBS研究会 もっとみる 共同研究・競争的資金等の研究課題 19 レーザー誘起ブレークダウン分光によるニオブ電解研磨液の現場分析 姫路市 令和7年度産学協同研究助成金 2025年7月 - 2026年3月 松本 歩, 仁井啓介 金ナノ粒子担持ポーラスシリコンを活用した微量液体のレーザー分析技術の開発 日本学術振興会 科学研究費助成事業 2023年4月 - 2026年3月 松本 歩 レーザー誘起ブレークダウン分光による電解研磨液の分析 兵庫県立大学 地域連携卒業研究 2023年6月 - 2024年3月 松本 歩, 遠山裕太, 仁井啓介 時空間パターン形成化学とキラル分子化学の国際連携・融合研究 日本学術振興会 科学研究費助成事業 2020年10月 - 2024年3月 深見一弘, 岡崎 豊, 松本 歩 シリコンナノホールアレイ上で生成するレーザー誘起プラズマの発光スペクトル解析 兵庫県立大学 特別研究助成金 若手研究者支援 2022年4月 - 2023年3月 松本 歩 もっとみる 産業財産権 1 特許第7280110号 測定用基材及びその製造方法、並びに発光分光分析装置及び発光分光分析方法 松本 歩, 八重真治