藤沢 浩訓, 村田 周平, 松岡 裕益, 板東 達也, 清水 勝, 丹生 博彦
電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス 100(652) 33-37 2001年3月5日
I層にスパッタ法で作製したMgO薄膜を用いたMIS (metal-insulator-semiconductor)及びMFIS(Metal-ferroelectrics-insulator-semiconductor)構造を作製し,その電気的特性を調べた。MIS構造ではヒステリシスの無いC-V特性が得られ,DLTS (Deep Level Transient Spectroscopy)法により測定した界面準位密度は約10^<12>eV^<-1>であった。MgOをバッファI層とすることでMOCVD (Metalorganic chemical vapor deposition)法により,結晶性の良好なPb(Zr,Ti)O_3(PZT)薄膜をSi基板上に作製することができた。MFIS構造ではPZT薄膜の強誘電性に起因するヒステリシスが確認され,メモリーウィンドウは0.2-0.7Vであった。