研究者業績
基本情報
- 所属
- 兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所 光応用・先端技術大講座 ナノマイクロシステム分野 SR-MEMS研究室 教授
- 学位
- 工学博士(東京大学)
- J-GLOBAL ID
- 200901051476266795
- researchmap会員ID
- 1000302392
- 外部リンク
研究キーワード
14研究分野
4経歴
10-
1999年 - 2000年
-
1999年 - 2000年
-
1992年 - 1999年
-
1992年 - 1999年
-
1993年
学歴
2-
- 1968年
-
- 1968年
委員歴
4受賞
3-
1999年
-
1992年
-
1991年
MISC
32-
Journal of the Society of Plant Engineers Japan Vol.16 No.1 pp.1-7 2004年
-
Journal of the Robotics Society of Japan Vol.21 No.7 748-751 2003年
-
REVIEW OF SCIENTIFIC INSTRUMENTS 73(3) 1376-1378 2002年3月
Works(作品等)
17共同研究・競争的資金等の研究課題
6産業財産権
12-
特願２００３－３０４３９５ 特開２００４－１１００１６
-
特願２００２－２６２９６７ 特開２００４－１０１３５１
-
特願２００２－２３１６４９ 特開２００４－６９６１０
-
特願２００１－３５８０９７ 特開２００３－１５４５７３
-
特願２００１－３５０５７８ 特開２００３－１５００７１