佐藤佑, 乾徳夫, 盛谷浩右, 住友弘二, 松尾直人, 部家彰, 山名一成, 高田忠雄, 中野響, 佐藤亘, 横山新
日本表面真空学会学術講演会講演要旨集 2018 127 2018年
ガスクラスターと固体表面の衝突を検出する新たな方法を開発するために,DNAアレイ及びSiO2上のグラフェンにArガスクラスターを衝突させ,それらの破壊について調べた.両者とも電気伝導性があるため,導通の有無によりスパッタリングが検出できる.グラフェンの場合には,表面被覆量の変化が可視光の反射率変化として捉えることができ,また,構造変化についてはラマンスペクトルから解析できることを報告する.