研究者検索結果一覧 原田 哲男 原田 哲男ハラダ テツヲ (Tetsuo Harada) ダウンロードする帳票の形式を下記より選択して下さい 「教育研究等環境」形式 「文科省帳票様式第4号 ①履歴書」形式 「文科省帳票様式第4号 ②教育研究業績書」形式 基本情報 所属兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所 教授学位博士(工学)J-GLOBAL ID201801018052844104researchmap会員IDB000326989 研究キーワード 2 EUVリソグラフィー 軟X線光工学 研究分野 1 エネルギー / 量子ビーム科学 / 経歴 6 2024年4月 - 現在 兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所 所長 2024年4月 - 現在 兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所 教授 2019年4月 - 2024年3月 兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所 准教授 2008年10月 - 2019年3月 兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所 助教 2008年4月 - 2008年9月 東北大学 多元物質科学研究所 教育研究支援者 もっとみる 学歴 3 2003年10月 - 2007年3月 東北大学 大学院工学研究科 応用物理学専攻 博士課程後期3年の課程 2001年4月 - 2003年9月 東北大学 大学院工学研究科 応用物理学専攻 博士課程前期2年の課程 1997年4月 - 2001年3月 東北大学 工学部 論文 146 Investigation of solvent effects on the distribution of resist compositions using resonant soft X-ray scattering Kouji Kuramoto, Yuri Ebuchi, Shinji Yamakawa, Tetsuo Harada, Takeo Watanabe JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 64(6) 2025年6月1日 Development of an EUV irradiation tool in hydrogen atmosphere to evaluate EUV mask absorber durability Hayato Ishida, Shinji Yamakawa, Tetsuo Harada JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 64(3) 2025年3月1日 Nanoscale Resist-Pattern Defects Clustered in the Micron Region Found by Soft X-ray Microscopy Takeharu Motokawa, Shuhei Iguchi, Shinji Yamakawa, Tetsuo Harada, Takeo Watanabe JOURNAL OF PHOTOPOLYMER SCIENCE AND TECHNOLOGY 38(2) 145-150 2025年 Spatial Distribution Analysis of Functional Groups in Resist Thin Film Using Reflection-Mode Resonant Soft X-ray Scattering Yuri Ebuchi, Shinji Yamakawa, Tetsuo Harada, Takeo Watanabe Journal of Photopolymer Science and Technology 37(6) 591-595 2024年12月25日 Observation Result of Chemical Composition Distribution of Resist Thin Film by Photoemission Electron Microscopy Tsukasa Sasakura, Shinji Yamakawa, Tetsuo Harada, Takeo Watanabe Journal of Photopolymer Science and Technology 37(6) 585-590 2024年12月25日 もっとみる MISC 200 EUVリソグラフィ用の実露光波長マスク検査装置の開発 原田哲男 レーザー研究 52(1) 31 2024年 BL-9Cビームライン【JST機械翻訳】 原田哲男 LASTI Annual Report (Web) 25 2024年 BL-10ビームライン【JST機械翻訳】 原田哲男 LASTI Annual Report (Web) 25 2024年 主鎖切断型レジストのEUV照射による現像特性評価 志賀竜太, 山川進二, 原田哲男 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 85th 2024年 水素雰囲気中における高強度EUV照射によるEUVマスク吸収体の評価 石田隼登, 山川進二, 原田哲男 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 85th 2024年 もっとみる 共同研究・競争的資金等の研究課題 7 EUV波面シンセサイザの開発と実時間・超深度ナノイメージングへの応用 日本学術振興会 科学研究費助成事業 基盤研究(C) 2019年4月 - 2022年3月 豊田 光紀, 原田 哲男 共鳴軟X線反射率測定によるフォトレジストの反応分布評価手法の開発 日本学術振興会 科学研究費助成事業 基盤研究(C) 2019年4月 - 2022年3月 原田 哲男 軟X線領域の薄膜の光学定数の精密測定 日本学術振興会 科学研究費助成事業 基盤研究(B) 2015年4月 - 2018年3月 木下 博雄, 原田 哲男, 村松 康司, 渡邊 健夫, 渡邊 健夫, 村松 康司 高感度且つ低LWRを有する1Xnm級EUVレジストの開発 日本学術振興会 科学研究費助成事業 基盤研究(B) 2013年4月 - 2016年3月 渡邊 健夫, 原田 哲男, 木下 博雄, 武藤 正雄, 津野 勝重 EUV 干渉露光による 20nm以下の極微細パタン形成 日本学術振興会 科学研究費助成事業 基盤研究(B) 2010年 - 2012年 渡邊 健夫, 木下 博雄, 原田 哲男, 塩野 大寿 13nm高次高調波の時間コヒーレンス100倍改善法の開発 日本学術振興会 科学研究費助成事業 若手研究(B) 2010年 - 2011年 原田 哲男 縦配置薄膜ビームスプリッターによる軟X線適用可能な新型コモンパス干渉計の開発 日本学術振興会 科学研究費助成事業 若手研究(スタートアップ) 2007年 - 2008年 原田 哲男 1 産業財産権 4 特許6031659 短波長コヒーレント光源及び透過型の減光機構 永田豊, 原田哲男, 木下博雄 特許5846681 欠陥特性評価装置 原田哲男, 木下博雄, 臼井洋一, 渡邊健夫 特許5683236 形状測定装置 原田哲男, 木下博雄, 渡邊健夫 特願2010-192518 パタン幅測定装置 原田哲男, 木下博雄, 渡邊健夫
原田 哲男ハラダ テツヲ (Tetsuo Harada) ダウンロードする帳票の形式を下記より選択して下さい 「教育研究等環境」形式 「文科省帳票様式第4号 ①履歴書」形式 「文科省帳票様式第4号 ②教育研究業績書」形式 基本情報 所属兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所 教授学位博士(工学)J-GLOBAL ID201801018052844104researchmap会員IDB000326989 研究キーワード 2 EUVリソグラフィー 軟X線光工学 研究分野 1 エネルギー / 量子ビーム科学 / 経歴 6 2024年4月 - 現在 兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所 所長 2024年4月 - 現在 兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所 教授 2019年4月 - 2024年3月 兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所 准教授 2008年10月 - 2019年3月 兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所 助教 2008年4月 - 2008年9月 東北大学 多元物質科学研究所 教育研究支援者 もっとみる 学歴 3 2003年10月 - 2007年3月 東北大学 大学院工学研究科 応用物理学専攻 博士課程後期3年の課程 2001年4月 - 2003年9月 東北大学 大学院工学研究科 応用物理学専攻 博士課程前期2年の課程 1997年4月 - 2001年3月 東北大学 工学部 論文 146 Investigation of solvent effects on the distribution of resist compositions using resonant soft X-ray scattering Kouji Kuramoto, Yuri Ebuchi, Shinji Yamakawa, Tetsuo Harada, Takeo Watanabe JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 64(6) 2025年6月1日 Development of an EUV irradiation tool in hydrogen atmosphere to evaluate EUV mask absorber durability Hayato Ishida, Shinji Yamakawa, Tetsuo Harada JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 64(3) 2025年3月1日 Nanoscale Resist-Pattern Defects Clustered in the Micron Region Found by Soft X-ray Microscopy Takeharu Motokawa, Shuhei Iguchi, Shinji Yamakawa, Tetsuo Harada, Takeo Watanabe JOURNAL OF PHOTOPOLYMER SCIENCE AND TECHNOLOGY 38(2) 145-150 2025年 Spatial Distribution Analysis of Functional Groups in Resist Thin Film Using Reflection-Mode Resonant Soft X-ray Scattering Yuri Ebuchi, Shinji Yamakawa, Tetsuo Harada, Takeo Watanabe Journal of Photopolymer Science and Technology 37(6) 591-595 2024年12月25日 Observation Result of Chemical Composition Distribution of Resist Thin Film by Photoemission Electron Microscopy Tsukasa Sasakura, Shinji Yamakawa, Tetsuo Harada, Takeo Watanabe Journal of Photopolymer Science and Technology 37(6) 585-590 2024年12月25日 もっとみる MISC 200 EUVリソグラフィ用の実露光波長マスク検査装置の開発 原田哲男 レーザー研究 52(1) 31 2024年 BL-9Cビームライン【JST機械翻訳】 原田哲男 LASTI Annual Report (Web) 25 2024年 BL-10ビームライン【JST機械翻訳】 原田哲男 LASTI Annual Report (Web) 25 2024年 主鎖切断型レジストのEUV照射による現像特性評価 志賀竜太, 山川進二, 原田哲男 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 85th 2024年 水素雰囲気中における高強度EUV照射によるEUVマスク吸収体の評価 石田隼登, 山川進二, 原田哲男 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 85th 2024年 もっとみる 共同研究・競争的資金等の研究課題 7 EUV波面シンセサイザの開発と実時間・超深度ナノイメージングへの応用 日本学術振興会 科学研究費助成事業 基盤研究(C) 2019年4月 - 2022年3月 豊田 光紀, 原田 哲男 共鳴軟X線反射率測定によるフォトレジストの反応分布評価手法の開発 日本学術振興会 科学研究費助成事業 基盤研究(C) 2019年4月 - 2022年3月 原田 哲男 軟X線領域の薄膜の光学定数の精密測定 日本学術振興会 科学研究費助成事業 基盤研究(B) 2015年4月 - 2018年3月 木下 博雄, 原田 哲男, 村松 康司, 渡邊 健夫, 渡邊 健夫, 村松 康司 高感度且つ低LWRを有する1Xnm級EUVレジストの開発 日本学術振興会 科学研究費助成事業 基盤研究(B) 2013年4月 - 2016年3月 渡邊 健夫, 原田 哲男, 木下 博雄, 武藤 正雄, 津野 勝重 EUV 干渉露光による 20nm以下の極微細パタン形成 日本学術振興会 科学研究費助成事業 基盤研究(B) 2010年 - 2012年 渡邊 健夫, 木下 博雄, 原田 哲男, 塩野 大寿 13nm高次高調波の時間コヒーレンス100倍改善法の開発 日本学術振興会 科学研究費助成事業 若手研究(B) 2010年 - 2011年 原田 哲男 縦配置薄膜ビームスプリッターによる軟X線適用可能な新型コモンパス干渉計の開発 日本学術振興会 科学研究費助成事業 若手研究(スタートアップ) 2007年 - 2008年 原田 哲男 1 産業財産権 4 特許6031659 短波長コヒーレント光源及び透過型の減光機構 永田豊, 原田哲男, 木下博雄 特許5846681 欠陥特性評価装置 原田哲男, 木下博雄, 臼井洋一, 渡邊健夫 特許5683236 形状測定装置 原田哲男, 木下博雄, 渡邊健夫 特願2010-192518 パタン幅測定装置 原田哲男, 木下博雄, 渡邊健夫