研究者業績

神田 一浩

カンダ カズヒロ  (Kazuhiro Kanda)

基本情報

所属
兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所 教授
(兼任)大学院 工学研究科 教授
学位
博士(理学)(東京大学)

J-GLOBAL ID
200901026854817474
researchmap会員ID
1000296310

研究キーワード

 4

論文

 195
  • Kazuhiro Kanda, Tomohiro Mishima, Hiroki Akasaka, Fuminobu Hori, Atsushi Yabuuchi, Atsushi Kinomura
    Japanese Journal of Applied Physics 63(4) 045503-045503 2024年4月1日  査読有り筆頭著者責任著者
    Abstract Positron annihilation spectroscopy was used to investigate vacancy-type defects in diamond-like carbon (DLC) films. From Doppler broadening measurements of the γ-rays produced by annihilation and positron annihilation lifetime (PAL) using a slow positron beam on DLC films deposited by various deposition methods and conditions, it was found that there is a good correlation between the S parameter obtained by Doppler broadening and PAL. The result of PAL correlates well with film density and hardness, indicating that PAL measurements can be used as an indicator of these film properties. The hydrogen content in the DLC film was roughly proportional to the PAL. However, there were also cases in which PAL differed greatly even with almost the same hydrogen content, and the sp2/(sp2+sp3) ratio of carbon in DLC films has no direct relationship with PAL.
  • Akira Heya, Akinori Fujibuchi, Masahiro Hirata, Yoshiaki Matsuo, Junichi Inamoto, Kazuhiro KANDA, Koji Sumitomo
    Japanese Journal of Applied Physics 2023年11月16日  査読有り
    <jats:title>Abstract</jats:title> <jats:p>The effects of soft X-ray irradiation and atomic hydrogen annealing (AHA) on the reduction of graphene oxide (GO) to obtain graphene were investigated. To clarify the interaction between soft X-rays and GO, soft X-rays of 300 eV and 550 eV were used for C 1s and O 1s inner-shell electron excitation, respectively at the NewSUBARU synchrotron radiation facility. Low-temperature reduction of the GO film was achieved by using soft X-ray at temperatures below 150 °C at 300 eV, and 60 °C at 550 eV. O-related peaks in X-ray photoelectron spectroscopy, such as the C–O–C peak, were smaller at 550 eV than those at 300 eV. This result indicates that excitation of the core–shell electrons of O enhances the reduction of GO. Soft X-rays preferentially break C–C and C–O bonds at 300 and 550 eV, respectively.</jats:p>
  • Masami Aono, Masami Terauchi, Yohei K. Sato, Kyoji Morita, Tasuku Inoue, Kazuhiro Kanda, Ken Yonezawa
    Applied Surface Science 635 157677-157677 2023年10月  査読有り
  • A. Yamaguchi, S. Ikeda, M. Nakaya, Y. Kobayashi, Y. Haruyama, S. Suzuki, K. Kanda, Y. Utsumi, T. Ohkochi, H. Sumida, M. Oura
    Journal of Electron Spectroscopy and Related Phenomena 267 147385-147385 2023年8月  
  • Akira HEYA, Akinori Fujibuchi, Masahiro Hirata, Kazuhiro KANDA, Yoshiaki Matsuo, Junichi INAMOTO, Koji Sumitomo
    Japanese Journal of Applied Physics 62(SC) SC1028-SC1028 2023年1月23日  査読有り
    <jats:title>Abstract</jats:title> <jats:p>The reduction of graphene oxide (GO) through atomic hydrogen annealing (AHA) and soft X-ray irradiation is investigated using microwell substrates with μm-sized holes with and without Ni underlayers. The GO film is reduced through AHA at 170 °C and soft X-ray irradiation at 150 °C. In contrast, some GO films are not only reduced but also amorphized through soft X-ray irradiation. The effect of the Ni underlayer on GO reduction differs between AHA and soft X-ray irradiation. In AHA, the difference in GO reduction between SiO<jats:sub>2</jats:sub> and Ni underlayer was originated from the atomic hydrogen density on sample surface. On the other hand, in soft X-ray irradiation, the difference in GO reduction between SiO<jats:sub>2</jats:sub> and the Ni underlayer originates from the excited electrons generated by soft X-ray irradiation. Reduction without damage is more likely to occur in the suspended GO than in the supported GO.</jats:p>

MISC

 77
  • K. Kanda, D. Niwa, T. Inoue, F. Hori, A. Yabuuchi, A. Kinomura
    KURNS PROGRESS REPORT 2022 95 2023年7月  筆頭著者
  • 三嶋友博, 森田恭司, 中西康次, 神田一浩, 赤坂大樹
    応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 70th 2023年  
  • 三嶋友博, 森田恭司, 中西康次, 赤坂大樹, 鈴木常生, 神田一浩
    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 84th 2023年  
  • K. Kanda, T. Mishima, F. Hori, A. Yabuuchi, A. Kinomura
    KURNS PROGRESS REPORT 2021 26 2022年7月  筆頭著者
  • 寺井響, 中西康次, 新部正人, 神田一浩, 赤坂大樹
    応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 69th 2022年  
  • 三嶋友博, 寺井響, 中西康次, 新部正人, 神田一浩, 福室直樹, 竹内雅耶, 堀史説, 薮内敦, 木野村淳
    応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 69th 2022年  
  • 丹羽大輔, 三嶋友博, 寺井響, 中西康次, 新部正人, 神田一浩, 堀史説, 薮内敦, 木野村淳
    応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 69th 2022年  
  • 三嶋友博, 中西康次, 新部正人, 春山雄一, 神田一浩
    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 83rd 2022年  
  • 中西康次, 森拓弥, 大園洋史, 鈴木哲, 神田一浩
    X線分析討論会講演要旨集 57th (Web) 2021年  
  • 部家彰, 山田良貴, 山崎良, 神田一浩, 住友弘二
    応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 68th 2021年  
  • 新部正人, 部家彰, 赤坂大樹, 神田一浩
    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 81st 2020年  
  • 神田一浩, 田中祥太郎, 新部正人, 長谷川孝行, 長谷川孝行, 鈴木常生
    応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 67th 2020年  
  • 岡部雅大, 村松憲仁, 鈴木伸介, 伊達伸, 伊達伸, 清水肇, 大熊春夫, 神田一浩, 宮本修治, 原田哲男, 渡邊健夫, 宮部学, 時安敦史
    日本物理学会講演概要集(CD-ROM) 75(1) 423-423 2020年  
    © 2017 American Physical Society. We searched for the bound state of the neutron-rich Λ-hypernucleus HΛ6, using the Li6(π-,K+)X double charge-exchange reaction at a π- beam momentum of 1.2GeV/c at J-PARC. A total of 1.4×1012π- was driven onto a Li6 target of 3.5-g/cm2 thickness. No event was observed below the bound threshold, i.e., the mass of HΛ4+2n, in the missing-mass spectrum of the Li6(π-,K+)X reaction in the 2&lt;θπK&lt;20 angular range. Furthermore, no event was found up to 2.8MeV/c2 above the bound threshold. We obtained the double-differential cross section spectra of the Li6(π-,K+)X reaction in the angular range of 2&lt;θπK&lt;14. An upper limit of 0.56 nb/sr (90% C.L.) was obtained for the production cross section of the HΛ6 hypernucleus bound state. In addition, not only the bound state region, but also the Λ continuum region and part of the Σ- quasifree production region of the Li6(π-,K+) reaction were obtained with high statistics. The present missing-mass spectrum will facilitate the investigation of the Σ - nucleus optical potential for Σ - He5 through spectrum shape analysis.
  • 部家彰, 新部正人, 原田哲男, 赤坂大樹, 神田一浩, 渡邊健夫, 住友弘二
    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 81st 2020年  
  • 部家彰, 山崎良, 神田一浩, 住友弘二
    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 81st 2020年  
  • 村松 憲仁, 岡部 雅大, 鈴木 伸介, 伊達 伸, 清水 肇, 大熊 春夫, 神田 一浩, 宮本 修治, 原田 哲男, 渡邊 健夫, 宮部 学, 時安 敦史
    加速器 : 日本加速器学会誌 16(3) 154-160 2019年  
  • 赤坂大樹, 鈴木常生, 中野雅之, 神田一浩, 大竹尚登
    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 77th 2016年  
  • 高松大樹, 高松大樹, 三浦永理, 神田一浩, 神田一浩
    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 77th 2016年  
  • 鈴木裕太郎, 鈴木常生, 神田一浩, 大竹尚登, 赤坂大樹
    応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 62nd 2015年  
  • 神田 一浩
    Ceramics Japan = セラミックス : bulletin of the Ceramic Society of Japan 50(1) 46-52 2015年1月  
  • 草壁 史, 平野 翔大, 部家 彰, 松尾 直人, 神田 一浩, 望月 孝晏, 宮本 修治, 小濱 和之, 伊藤 和博
    電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 114(360) 99-102 2014年12月12日  
    SiO_x中に低温でナノ結晶Si(nc-Si)を形成することは、高効率太陽電池実現にとって重要な技術の一つである。我々はシンクロトロン放射光施設NewSUBARUのBL07Aを利用した軟X線照射による低温結晶化を提案しており、非晶質Si(a-Si)膜において結晶化閥値温度を100℃程度低減できることを明らかにしている。Si2p軌道の内殻準位に近い光子エネルギーの軟X線照射による電子励起・原子移動効果により、SiO_x膜中のa-Siは結晶化した。軟X線照射時の基板温度は660℃である。nc-Siの粒径は、ラマンピークのシフトより16.8nmと見積もられた。軟X線照射により、nc-Siを低温で形成できる可能性があると考えられる。
  • 部家 彰, 草壁 史, 平野 翔大, 松尾 直人, 神田 一浩
    電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 114(360) 13-16 2014年12月12日  
    我々は10nm程度の極浅接合形成のため、アンジュレータ光源を用いた軟X線照射によるSi中B不純物の低温活性化について検討している。本研究では、B不純物源として極浅接合形成が期待できるBクラスタイオン(B_<10>H_<14>^+)を用いた。軟X線照射した試料のシート抵抗は、低温(〜500℃)にもかかわらず、熱処理よりもシート抵抗の低減が確認され、軟X線照射の効果が確認された。これは、軟X線照射による電子励起・クーロン斥力発生および局所格子振動の合成による原子移動効果により、B_<10>H_<14>^+注入時のSiダメージ層の結晶性回復とB原子のSi格子位置への置換(ノックオン効果)が生じたためと考えられる。また、B_<10>H_<14>^+注入はB^+注入に比べ、低抵抗化が可能であることが示された。
  • 鈴木裕太郎, 鈴木常生, 神田一浩, 大竹尚登, 赤坂大樹
    応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 75th 2014年  
  • 谷川 東子, 吉永 秀一郎, 橋本 洋平, 山口 紀子, 伊藤 嘉昭, 福島 整, 神田 一浩, 上村 雅治, 長谷川 孝行, 高橋 正通
    日本森林学会大会発表データベース 125 385-385 2014年  
    発表者らは、日本に分布する MelanudandsやFulvudandsといった火山灰土にはイオウ(S)化合物が多量に蓄積され、その主要な形態はエステル硫酸態S(酸化型の有機S)であることを明らかにしてきた。しかし、火山灰土が火山灰の2次堆積や大陸からの風成塵が継続的に累積したことにより上方に向かって発達する累積性土壌である点については、考慮してこなかった。そこで土の累積性がエステル硫酸態Sの垂直分布に与える影響について検討するため、日光七本桜テフラ(Nt-S, 14,000-15,000年前形成)の上部に発達したmelanic epipedonに存在するエステル硫酸態Sを、S K-edge XANES spectroscopyと湿式分析を組み合わせることで定量した。また全Sの安定同位体比δ&lt;sup&gt;34&lt;/sup&gt;Sの垂直変動も計測した。その結果、エステル硫酸Sの前身である還元型Sを多く含む層がエステル硫酸主体の層の間に縞模様に観察され、下層のδ&lt;sup&gt;34&lt;/sup&gt;Sは表層より高いことが明らかになった。これらの結果から、上方への土壌母材の堆積とデトリタスや土壌有機物の分解作用が同時に起こることで縞模様は形成され、分解過程で生成したエステル硫酸態Sの一部は無機の硫酸イオンまでは分解されずに保存されていると推察された。
  • 部家 彰, 草壁 史, 丸山 裕樹, 松尾 直人, 神田 一浩, 野口 隆
    電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 113(351) 67-72 2013年12月13日  
    10nm程度の極浅接合形成のため、アンジュレータ光源を用いた軟X線照射によるSi中B不純物の低温活性ィヒについて検討した。軟X線照射によるシート抵抗の低減効果は、熱処理と比べて400℃以下の低温領域で顕著になり、アレニウスプロットから見積もった活性化エネルギーは軟X線照射と熱処理でそれぞれ、0.06eV、0.18eVであった。照射光子エネルギーがSi2pのエネルギー準位に近づくと、活性化が促進された。また、活性化率6.2×10^<-3>と低いが、100℃程度の低温処理でも、軟X線の効果により、活性化が促進された。さらに、Cu製冷却ホルダを用いて35℃で軟X線照射した場合、わずかにシート抵抗は減少した。以上のことからSi中のBの活性化は (1)Si2p準位の電子励起によるイオン化、(2)それに伴うクーロン斥力の発生、(3)クーロン斥力発生・格子振動の局所合成によるSi原子の原子移動の促進、(4)Si結品性回復およびSi原子移動によるB原子のノックノン効果によるB原子のSi格子位置への移動のプロセスが考えられる。
  • 草壁 史, 丸山 裕樹, 部家 彰, 松尾 直人, 神田 一浩, 望月 孝晏, 伊藤 和博, 高橋 誠
    電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 113(351) 61-66 2013年12月13日  
    a-Ge, a-SiGe腹の軟X線照射結晶化における照射光子エネルギー依存性を検討した。Ge腹において蓄積リング電流値75mA、照射光子エネルギー100evにて、試料温度が380℃で結晶化が見られたが、130eVでは100eVの条件より試料温度が高い410℃にもかかわらず結晶化が見られなかった。このことから結晶化は温度効果よりも照射光子エネルギーに依存すると考えられる。また、軟X線照射により結晶化したSiGe濃度傾斜多層膜を透過型電子顕微鏡(TEM)により観察した。層界面では結晶格子が連なっており、軟X線照射結晶化では眉間に結晶方位関係を有する結晶成長が実現できることが明らかとなった。
  • 鈴木裕太郎, 鈴木常生, 神田一浩, 大竹尚登, 赤坂大樹
    日本機械学会機械材料・材料加工技術講演会論文集(CD-ROM) 21st 2013年  
  • Kumiko Yokota, Masahito Tagawa, Koji Matsumoto, Yuichi Furuyama, Akira Kitamura, Kazuhiro Kanda, Mayumi Tode, Akitaka Yoshigoe, Yuden Teraoka
    Astrophysics and Space Science Proceedings 32 531-540 2013年1月1日  
    © Springer-Verlag Berlin Heidelberg 2013. Stability of hydrogen in diamond-like carbon (DLC) film under simulated space environment, i.e., hyperthermal atomic oxygen, vacuum ultraviolet (VUV) and soft X-ray exposures has been studied. Hydrogen in DLC was released by exposure to low-energy atomic oxygen beam, whereas the gasification reaction of carbon atom needed collision energy above 3 eV. The desorption process in the deep region required a higher collision energy. The density of hydrogen decreased 11% by atomic oxygen exposure, and was independent of the collision energy. Photon exposure also releases hydrogen from DLC. High-energy photons in soft x-ray promote the hydrogen desorption even from deeper region with high efficiency. It was considered that soft x-ray could release bonded hydrogen which is not released by VUV or atomic oxygen exposures.
  • 松尾 直人, 部家 彰, 望月 孝晏, 宮本 修治, 神田 一浩
    電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス 112(18) 49-54 2012年4月20日  
    ガラス基板上に蒸着した非晶質Si,Ge,Si_xGe_<1-x>膜へ,NewSUBARU放射光施設の短尺アンジュレータ光源を用いた軟X線を照射して結晶化する新しい方法(軟X線照射法)を開発した。固相下における擬似核形成・粒成長の低温化を確認した.本方法の基本となる素過程は軟X線の光子エネルギーにより非晶質膜を構成する原子の内殻電子を局所的に励起させ,原子間のクーロン斥力により原子を移動させ,擬似結晶核を形成する事である.擬似結晶核の形成に対応して,粒成長の低温化をはかる事ができる.現状においてはSi,Ge,Si_xGe_<1-x>膜において,赤外線加熱による結晶化よりも約100℃低温において結晶化を実現している.
  • 松尾 直人, 部家 彰, 望月 孝晏, 宮本 修治, 神田 一浩
    電子情報通信学会技術研究報告. OME, 有機エレクトロニクス 112(19) 49-54 2012年4月20日  
    ガラス基板上に蒸着した非晶質Si,Ge,Si_xGe_<1-x>膜へ,NewSUBARU放射光施設の短尺アンジュレータ光源を用いた軟X線を照射して結晶化する新しい方法(軟X線照射法)を開発した。固相下における擬似核形成・粒成長の低温化を確認した.本方法の基本となる素過程は軟X線の光子エネルギーにより非晶質膜を構成する原子の内殻電子を局所的に励起させ,原子間のクーロン斥力により原子を移動させ,擬似結晶核を形成する事である.擬似結晶核の形成に対応して,粒成長の低温化をはかる事ができる.現状においてはSi,Ge,Si_xGe_<1-x>膜において,赤外線加熱による結晶化よりも約100℃低温において結晶化を実現している.
  • 部家 彰, 野々村 勇希, 木野 翔太, 松尾 直人, 天野 壮, 宮本 修治, 神田 一浩, 望月 孝晏, 都甲 薫, 佐道 泰造, 宮尾 正信
    電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス 111(357) 71-76 2011年12月9日  
  • 高梨 泰幸, 部家 彰, 松尾 直人, 神田 一浩
    電子情報通信学会技術研究報告. SDM, シリコン材料・デバイス 108(335) 17-20 2008年11月28日  
    アンジュレータ光源から発生した軟X線をa-Si膜(膜厚1,50nm)に照射したときの特性変化を検討した.照射前後で表面粗さRaは0.63nmから1.70nmへ変化した.これに対応して電気抵抗値も増加した.膜厚が薄い場合,単位原子当たりの光の吸収量が大きい.フォトンによるSi原子の振動励起がトリガーとなり,膜厚方向へ働く力が大きくなる.Si原子の移動が連続的に生じ凝集現象が起き,表面形状が変化したと考えられる.
  • 春山 雄一, 北川 晃幸, 神田 一浩, 松井 真二, 豊田 紀章, 山田 公
    日本物理学会講演概要集 63(1) 732-732 2008年2月29日  
  • 西原 克浩, 松本 雅充, 木本 雅也, 工藤 赳夫, 内田 仁, 春山 雄一, 神田 一浩, 松井 真二
    材料と環境 : zairyo-to-kankyo 57(2) 76-80 2008年2月15日  
  • Haruyama Yuichi, Kitagawa Teruyuki, Kanda Kazuhiro
    兵庫県立大学工学研究科イオン工学研究室論文集 2008 106-109 2008年  
  • 春山 雄一, 北川 晃幸, 神田 一浩, 松井 真二, 豊田 紀章, 山田 公
    日本物理学会講演概要集 62(2) 762-762 2007年8月21日  
  • 西原 克浩, 松本 雅充, 木本 雅也, 工藤 赳夫, 内田 仁, 春山 雄一, 神田 一浩, 松井 真二
    材料と環境 : zairyo-to-kankyo 56(7) 314-320 2007年7月15日  
  • NAKAMATSU Kenichiro, NAGASE Masao, ICHIHASHI Toshinari, KANDA Kazuhiro, HARUYAMA Yuichi, KAITO Takashi, MATSUI Shinji
    IEICE transactions on electronics 90(1) 41-45 2007年1月1日  
    Our investigation of diamond-like carbon (DLC) nanosprings with a 130nm spring-section diameter, which were fabricated by focused-ion-beam chemical vapor deposition (FIB-CVD), showed for the first time that nanosprings can be stretched. We observed large displacements of the FIB-CVD nanosprings using in situ optical microscopy; in other words, the nanosprings showed behavior similar to that of macroscale springs. In addition, we investigated the dependence of the spring constant of DLC nanosprings on spring diameter. The spring constants, measured using commercially available cantilevers, ranged from 0.47 to 0.07N/m. The diameter dependence of spring constant can be accurately expressed by the conventional formula for a coil spring. The estimated shear modulus of the DLC nano-springs was about 70GPa. This value is very close to the value of conventional coil springs made of steel. Furthermore, we measured the stiffness of a DLC nanospring annealed at 1000℃ in vacuum. The stiffness was decreased to approximately half of the stiffness of the nanospring without annealing.
  • 神田 一浩, 春山 雄一, 松井 真二
    兵庫県立大学大学院物質理学研究科・生命理学研究科研究一覧 17 72-72 2006年10月10日  
  • 神田 一浩, 春山 雄一, 松井 真二
    兵庫県立大学大学院物質理学研究科・生命理学研究科研究一覧 17 72-73 2006年10月10日  
  • 春山 雄一, 神田 一浩, 松井 真二
    兵庫県立大学大学院物質理学研究科・生命理学研究科研究一覧 18 77-77 2006年4月  
  • 松井 真二, 神田 一浩, 春山 雄一
    兵庫県立大学大学院物質理学研究科・生命理学研究科研究一覧 18 76-76 2006年4月  
  • 神田 一浩, 春山 雄一, 松井 真二
    兵庫県立大学大学院物質理学研究科・生命理学研究科研究一覧 18 76-77 2006年4月  
  • 神田 一浩, 春山 雄一, 松井 真二
    兵庫県立大学大学院物質理学研究科・生命理学研究科研究一覧 18 76-76 2006年4月  
  • 松井 真二, 神田 一浩, 春山 雄一
    兵庫県立大学大学院物質理学研究科・生命理学研究科研究一覧 16 77-77 2005年10月21日  
  • 春山 雄一, 神田 一浩, 松井 真二
    兵庫県立大学大学院物質理学研究科・生命理学研究科研究一覧 16 78-78 2005年10月21日  
  • 神田 一浩, 春山 雄一, 松井 真二
    兵庫県立大学大学院物質理学研究科・生命理学研究科研究一覧 16 77-78 2005年10月21日  
  • 神田 一浩, 春山 雄一, 松井 真二
    兵庫県立大学大学院物質理学研究科・生命理学研究科研究一覧 16 77-77 2005年10月21日  
  • 春山 雄一, 神田 一浩, 松井 真二
    日本物理学会講演概要集 60(2) 757-757 2005年8月19日  

書籍等出版物

 3

講演・口頭発表等

 40

共同研究・競争的資金等の研究課題

 15